特种气体管道氦检漏方法
2022-12-28 10:12:56 来源：实验室气路工程
特种气体管道氦检漏方法
1.顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
2.内向检漏法(喷氦法)应采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
3.阀座检漏法应采用阀门游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
4.外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
5.氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1×10-10mbar·L/s。
6.特种气体系统氦检漏的泄漏率应符合下列规定:
6.1内向测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-9mbar·L/s；
6.2阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s；
6.3外向测漏法测定的泄漏率不得大于 1×10-6mbar·L/s；
7.氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验合格后，然后按规定再进行氦检漏
8.所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。
9.系统测试完毕，应充人高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。
10.测试完毕后，应提交测试报告。
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